(Dziennik Urzędowy Unii Europejskiej L 319 z dnia 14 grudnia 2018 r.)(Dz.U.UE L z dnia 12 kwietnia 2019 r.)
Strona 129, pozycja 3B001.f., w pkt 3 i 4 zmienia się wyrównanie tekstu:
zamiast: "3. sprzęt specjalnie zaprojektowany do wytwarzania masek, spełniający wszystkie poniższe kryteria:
a. posiadający odchylaną, zogniskowaną wiązkę elektronów, jonów lub wiązkę "laserową"; oraz
b. spełniający którekolwiek z poniższych kryteriów:
1. apertura plamki dla szerokości piku w połowie jego wysokości poniżej 65 nm i umiejscowienie obrazu poniżej 17 nm (średnia + 3 sigma); lub
2. nieużywane;
3. błąd nakładania drugiej warstwy mniejszy niż 23 nm (średnia + 3 sigma) na maskę;
4. Sprzęt zaprojektowany do wytwarzania przyrządów wykorzystujący metody bezpośredniego nadruku i spełniający wszystkie poniższe kryteria:
a. wykorzystujący odchylaną, zogniskowaną wiązkę elektronów; oraz
b. spełniający którekolwiek z poniższych kryteriów:
1. minimalny rozmiar wiązki równy lub mniejszy niż 15 nm; lub
2. błąd nakładania warstwy mniejszy niż 27 nm (średnia + 3 sigma);",
powinno być: "3. sprzęt specjalnie zaprojektowany do wytwarzania masek, spełniający wszystkie poniższe kryteria:
a. posiadający odchylaną, zogniskowaną wiązkę elektronów, jonów lub wiązkę "laserową"; oraz
b. spełniający którekolwiek z poniższych kryteriów:
1. apertura plamki dla szerokości piku w połowie jego wysokości poniżej 65 nm i umiejscowienie obrazu poniżej 17 nm (średnia + 3 sigma); lub
2. nieużywane;
3. błąd nakładania drugiej warstwy mniejszy niż 23 nm (średnia + 3 sigma) na maskę;
4. Sprzęt zaprojektowany do wytwarzania przyrządów wykorzystujący metody bezpośredniego nadruku i spełniający wszystkie poniższe kryteria:
a. wykorzystujący odchylaną, zogniskowaną wiązkę elektronów; oraz
b. spełniający którekolwiek z poniższych kryteriów:
1. minimalny rozmiar wiązki równy lub mniejszy niż 15 nm; lub
2. błąd nakładania warstwy mniejszy niż 27 nm (średnia + 3 sigma);".